SEM（Field Emission Scanning Electron Microscope)

发布者：崔玉双发布时间：2020-12-10浏览次数：195

分辨率：0.8nm @30KV ;0.8nm@15KV ；1.6nm @ 1 KV

放大倍率：12-1000000x (SE)，100-1000000X (BSE)

加速电压：0.02V-30KV

探针电流：4 pA - 20 nA

样品室：X/Y=130mm ; Z = 50mm; T = -3 to 70°; R = 360° 连续旋转