1.探测器：无窗型电制冷探测器， 彻底消除窗口材料对X射线的吸收。
2.探测器活区面积100mm2。
3.探测器椭圆形设计，电子陷阱和准直器一体化设计，更加逼近样品。
4.能量分辨率：Mn Ka保证优于127eV, 元素分析范围: Li3～Cf98。
5.独立封装FET场效应管，避免X射线轰击.
6.谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV，分辨率变化小于1eV, 48小时内峰位漂移小于1.5eV
7.具备零峰修正功能, 可以快速稳定谱峰, 开机后无需重新修正峰位。
8.探测器软件控制自动伸缩，精确定位，无需手摇。
9.探测器自动升温保护，防止污染，并自动后撤，挡板密封。
10.能谱仪处理器与计算机采用分立式设计，电子图像清晰度8192*8192，全谱面分布图清晰度4096*4096
该设备为扫描电镜的附件，可实现对样品表面元素成分的微区检测，其空间分辨率可达到纳米，可进行定性及定量分析，分析元素范围从3号元素Li到95号元素Am。
在入射电子束的作用下，样品表面原子会产生具有特定能量的X射线。该仪器通过捕获和分析出不同能量X射线的强度，从而推导出样品的元素成分及其含量。